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Los alemanes crearon una serie de instalaciones de detención para encarcelar y eliminar a los “enemigos del estado.” La mayoría de los prisioneros en los primeros campos de concentración era comunistas alemanes, socialistas, social demócratas, romas (gitanos), testigos de Jehová, homosexuales, clérigos cristianos, y personas acusadas de comportamiento “asocial” o anormal.
Después de la anexión de Austria en marzo de 1938, los nazis arrestaron judíos alemanes y austriacos y los encarcelaron en los campos de Dachau, Buchenwald, y Sachsenhausen, en Alemania. Después de los pogroms de Kristallnacht en noviembre de 1938, los nazis llevaron a cabo arrestos masivos de hombres judíos y los encarcelaron en campos por periodos breves.
Equipos especiales de las SS llamados “Unidades de la calavera” (Totenkopfverbände) vigilaban los campos, y competían unos con otros en crueldad. Durante la Segunda Guerra Mundial, médicos nazis hacían experimentos sobre los prisioneros de algunos campos. Bajo el impacto de la guerra, el sistema de campos nazis creció rápidamente. Después de la invasión alemana de Polonia en septiembre de 1939, los nazis abrieron campos de trabajos forzados donde miles de prisioneros murieron de agotamiento y hambre.
Después de la invasión alemana de la Unión Soviética en junio 1941, los nazis aumentaron el numero de campos de prisioneros de guerra. Algunos de los campos fueron construidos dentro de campos de concentración ya existentes, como en Auschwitz en la Polonia ocupada. El campo de Lublin, luego conocido como Majdanek, fue creado en el otoño de 1941 como un campo de prisioneros de guerra y fue convertido en campo de concentración en 1943. Miles de prisioneros de guerra soviéticos fueron fusilados o gaseados ahí.